型 號 | JL-VM05 | ||
等離子源系統(tǒng) | 頻 率 | 13.65MHz 射頻 | |
功 率 | 300W （連續(xù)可調(diào)，精度為1W） | ||
真空系統(tǒng) | 真空腔體 | 材質(zhì) | 石英 |
腔體內(nèi)部尺寸 | φ155*260mm（直徑*深度) | ||
腔體容積 | 5 L | ||
密封性 | 軍工級焊接密封 | ||
泵 | 真空泵 | 油泵/干泵 | |
處理溫度 | ＜60°C | ||
流量計 | 浮子流量計 | ||
氣路控制 | 2路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào) | ||
真空度 | 10Pa --100Pa | ||
工藝氣體 | Ar、N?、CF?、O?、H?等（可選） | ||
外觀參數(shù) | 外形尺寸 | 650*480*420mm（寬*深*高） | |
重 量 | 55kg | ||
設(shè)施配置 | 電 力 | 單相三線制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計規(guī)范》等國標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定。 | |
