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定制等離子清洗機(jī)

LED等離子清洗機(jī)

LED的封裝不僅要求能夠保護(hù)燈芯,而且還要能夠透光。所以LED的封裝對(duì)封裝材料有特殊的要求。而在微電子封裝的生產(chǎn)過程中,由于各種指紋、助焊劑、交叉污染、自然氧化、器件和材料會(huì)形成各種表面污染,包括有機(jī)物、環(huán)氧樹脂、光阻劑和焊料、金屬鹽等。這些污漬會(huì)對(duì)包裝生產(chǎn)過程和質(zhì)量產(chǎn)生重大影響。等離子清洗的使用可以很容易地通過在污染的分子級(jí)生產(chǎn)過程形成的去除,保證原子和原子之間的緊密接觸工件表面附著,從而有效提高粘接強(qiáng)度,改善晶片鍵合質(zhì)量,降低泄漏率,提高包裝性能、產(chǎn)量和組件的可靠性。

產(chǎn)品詳情


型號(hào)

JL-VM150

等離子源系統(tǒng)

頻  率

13.56MHz  射頻

40KHz  中頻

功  率

0~1000W可調(diào)

0-5000W可調(diào)

             選 配

真空系統(tǒng)

真空腔體

材質(zhì)

316L不銹鋼、航空鋁(選配)

腔體內(nèi)部尺寸(MM)

500*600*500(寬高深)

腔體容積

150L

極板

17層,水平式,活動(dòng)可調(diào)節(jié)

密封性

軍工級(jí)焊接密封

泵組

油泵/干泵+羅茨泵組合(選配)

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計(jì)

1×105~1×10-1Pa

質(zhì)量流量計(jì)

<±1% FS

氣路控制

2-4路處理氣體氣路,氣體流量可調(diào)

極限真空

5Pa

適用氣體

流量范圍

0-500SCCM(可調(diào))

工藝氣體

Ar、N?、O?、H?等等(可選)

控制系統(tǒng)

1、PLC 自動(dòng)控制;

2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面;

3、配方程序?yàn)?nbsp;0~99;

4、多級(jí)權(quán)限操作;

5、圖形化曲線圖自動(dòng)監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài)及錯(cuò)誤信息;

6、存儲(chǔ)工藝數(shù)據(jù)及錯(cuò)誤信息;

7、報(bào)警信息提示及追溯;

8、圖形化界面檢測(cè)處理參數(shù);

9、自動(dòng)、手動(dòng)操作可切換;

10、維護(hù)提示緊急停止按鈕;

11、門感應(yīng)器和真空互鎖;

12、機(jī)器運(yùn)行信號(hào)指示;

13、機(jī)器運(yùn)行結(jié)束提示;

外觀參數(shù)

外形尺寸(MM)

850*1700*1020(寬高深)

重  量

700KG

設(shè)施配置

電  力

五線線三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計(jì)規(guī)范》等國(guó)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定

壓縮空氣

干燥壓縮空氣CDA

其  它

提供操作手冊(cè)、維護(hù)手冊(cè)、安裝手冊(cè),易損件備件清單.


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