型 號 | JL-RTR8000 | |
設(shè)備主機 | 主機尺寸 | 1860mm長 X 1470mm寬 X 2000mm高 |
重量 | 2550Kg | |
安裝面積 | 3500mm X 5500mm(含開門上下板位置) | |
電極 | 電極分布 | 垂直分布，每片電極獨立冷卻 |
電極數(shù)量 | 16片 | |
RF 電源系統(tǒng) | 品牌/型號 | AE 10KW |
功率@頻率 | 10KW @ 40KHZ | |
工藝氣體流量控制系統(tǒng) | 流量控制器 | parker氣體流量控制器 |
標(biāo)準(zhǔn)配置4路氣體 | 一路2000sccms,三路5000sccms | |
軟件控制系統(tǒng) | 人機界面+PLC | |
真空泵系統(tǒng) | 真空泵組 | 抽速能力1160 m3/h / 1900m3/h （可選） |
真空工作力 | 進氣氧氣流量2.5-3.0L/min狀態(tài)下，工作壓力可控范圍180-300mTorr | |
生產(chǎn)能力 | 生產(chǎn)板最大尺寸 | 25X44 inch （21*24 inch 30塊/爐） |
標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)板厚度 | 0.1-9mm(0.5以下薄板需定制軟板夾具） | |
生產(chǎn)板最小尺寸 | 4 X 4inch | |
