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定制等離子清洗機(jī)

外延片等離子刻蝕機(jī)

對(duì)外延片、晶圓、塑料、金屬材料等,進(jìn)行介質(zhì)刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕,實(shí)現(xiàn)各項(xiàng)異性刻蝕,保證細(xì)小圖形轉(zhuǎn)移后的保真性。


產(chǎn)品詳情


型  號(hào)

JL-E30

等離子源系統(tǒng)

頻  率

13.56MHz  射頻

功  率

0~500W    可調(diào)

真空系統(tǒng)

真空腔體

材質(zhì)

石英、航空鋁(選配)

腔體內(nèi)部尺寸(MM)

400*200*400

腔體容積

30L

極板

1層

密封性

軍工級(jí)焊接密封

真空泵

干泵

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計(jì)

薄膜硅

氣體流量計(jì)

<±1% FS

氣路控制

2路處理氣體氣路,氣體流量可調(diào)

極限真空

3Pa

適用氣體

流量范圍

0-500SCCM(可調(diào))

工藝氣體

Ar、N?O?、H?等等(可選)

控制系統(tǒng)

1、PLC 自動(dòng)控制;

2、7寸觸摸屏,圖形用戶(hù)界面;

3、配方程序?yàn)?nbsp;0~99;

4、多級(jí)權(quán)限操作;

5、圖形化曲線(xiàn)圖自動(dòng)監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài)及錯(cuò)誤信息;

6、存儲(chǔ)工藝數(shù)據(jù)及錯(cuò)誤信息;

7、報(bào)警信息提示及追溯;

8、圖形化界面檢測(cè)處理參數(shù);

9、自動(dòng)、手動(dòng)操作可切換;

10、維護(hù)提示緊急停止按鈕;

11、門(mén)感應(yīng)器和真空互鎖;

12、機(jī)器運(yùn)行信號(hào)指示;

13、機(jī)器運(yùn)行結(jié)束提示;

外觀參數(shù)

外形尺寸(MM)

640*1700*840 (寬高深)

重  量

280KG

設(shè)施配置

電  力

五線(xiàn),三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線(xiàn)符合《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線(xiàn)路設(shè)計(jì)規(guī)范》等國(guó)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定。

壓縮空氣

干燥壓縮空氣CDA。

其  它

提供操作手冊(cè)、維護(hù)手冊(cè)、安裝手冊(cè),易損件備件清單。


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