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40kHz vs 13.56MHz vs 2.45GHz:如何選擇適合您的等離子清洗機(jī)電源頻率?

發(fā)布時(shí)間:2024-05-16 16:10:17 瀏覽數(shù):964

等離子清洗機(jī)的電源頻率主要有三種,分別是40kHz、13.56MHz和2.45GHz,它們?cè)诙鄠€(gè)方面存在顯著的差別:

  1. 頻率和應(yīng)用場(chǎng)景:
  • 40kHz:俗稱中頻電源,通常在5千瓦至20千瓦之間,被廣泛應(yīng)用于真空等離子清洗機(jī)設(shè)備中。其特點(diǎn)是能量高、密度低,穿透性較好,且生產(chǎn)成本較低。
  • 13.56MHz:俗稱射頻電源,功率范圍一般在100瓦至1000瓦,常用于大氣等離子清洗機(jī)設(shè)備中。它的特點(diǎn)是等離子能量低,但等離子密度高,效果均勻,但成本稍高。
  • 2.45GHz:這是微波等離子清洗機(jī)設(shè)備的頻率,但由于微波成本太高,目前應(yīng)用得較少。
  1. 自偏壓和反應(yīng)機(jī)制:
  • 40kHz的超聲等離子體自偏壓為1000V左右,其發(fā)生的反應(yīng)主要是物理反應(yīng),如表面除膠、毛刺打磨等處理。
  • 13.56MHz的射頻等離子體自偏壓為250V左右,其發(fā)生的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學(xué)反應(yīng)。
  • 2.45GHz的微波等離子清洗機(jī)自偏壓很低,只有幾十伏,且主要發(fā)生的反應(yīng)為化學(xué)反應(yīng)。
  1. 放電現(xiàn)象和工藝處理溫度:
  • 在中頻等離子清洗機(jī)中,由于中頻電源直接輸出到電極板的電壓較高,其自偏壓也較高,這可能導(dǎo)致正離子的功率吸收增加,從而引起電極板的溫度升高。同時(shí),由于離子吸收部分功率,用于電離的電子的功率吸收就相應(yīng)地減少,導(dǎo)致等離子體密度較低而離子能量較高。
  • 射頻等離子清洗機(jī)的情況則有所不同。在射頻容性耦合方式的放電過(guò)程中,電極板產(chǎn)生的自偏壓受到放電氣壓的影響,但其中自偏壓較小。電子的功率吸收主要來(lái)自于與電極板表面的震蕩鞘層相互作用。因此,射頻等離子清洗機(jī)的激發(fā)頻率越高,電子的功率相對(duì)的也會(huì)越高,而離子轟擊的能量就會(huì)降低,這使得工藝處理過(guò)程中的溫度相對(duì)較低。

綜上所述,選擇哪種頻率的等離子清洗機(jī)電源取決于具體的應(yīng)用需求,包括處理材料、處理效果、成本預(yù)算等因素。

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