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技術(shù)知識

Plasma等離子清洗機(jī),等離子體刻蝕機(jī),真空等離子

發(fā)布時間:2022-04-01 16:05:33 瀏覽數(shù):753

1. 緊湊臺式設(shè)備、沒有RF放射、符合CE安全標(biāo)準(zhǔn)。

2. 功率為低、中、高三檔可調(diào)

低功率檔 30W

中功率檔 38W

高功率檔 45W

低功率檔功率相當(dāng)于PDC-002 擴(kuò)展型等離子清洗機(jī)的高 功率檔設(shè)置

3. 高功率型:

- 自動風(fēng)扇冷卻

- 集成真空泵開關(guān)

- 清洗腔:長6.5英寸,直徑6英寸,腔蓋具有鉸鏈和磁力鎖, 可視窗口,可拆卸;

- 1/8NPT針孔閥控制氣流及腔體壓力;

- 整機(jī)尺寸:11英寸H × 18英寸W × 9英寸D;

- 重量:37 lbs;

“半導(dǎo)體真空等離子/

4. 選配件

- 真空檢測計;

- 氣體流量混合器;

- 石英樣品托盤;

- 真空泵;

應(yīng)用案例

圖為:兩種工藝氣體混合等離子清洗

圖上:氣體流量混合器

均勻混合兩種工藝氣體濃度,根據(jù) 工藝氣體流量的大小同時實時檢測 清洗腔體真空度的濃度

圖下:PDC-002-HP等離子清洗機(jī)

應(yīng)用

等離子清洗機(jī)除了具有超清洗功能外,在特定條件下還可根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。等離子體作用于材料表面,使表面分子的化學(xué)鍵發(fā)生重組,形成新的表面特性。對某些有特殊用途的材料,在超清洗過程中等離子清洗器的輝光放電不但加強(qiáng)了這些材料的粘附性、相容性和浸潤性,并可消毒和殺菌。等離子清洗器廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。

參考客戶:

蘭州大學(xué) 鄭州大學(xué) 上海交通大學(xué) 上海復(fù)旦大學(xué) 合肥工業(yè)大學(xué) 成都電子科技大學(xué) 北京大學(xué) 清華大學(xué)醫(yī)工所 蘭州化物所 中科院納米所 香港科技大學(xué)等等

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