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技術(shù)知識(shí)

中頻電源、射頻電源和微波電源的區(qū)別

發(fā)布時(shí)間:2024-04-19 15:23:24 瀏覽數(shù):1949

等離子清洗機(jī)的電源可以按頻率分為中頻電源、射頻電源和微波電源,在等離子處理中各自具有獨(dú)特的特點(diǎn)。

1、中頻等離子清洗機(jī)

由于中頻電源直接輸出到電極板的電壓較高,其自偏壓也較高,產(chǎn)生的負(fù)自偏壓就會(huì)引起正離子的功率吸收,從而直接引起電極板的溫度升高。同時(shí)由于在這個(gè)過(guò)程中離子會(huì)吸收部分的功率,因此用于電離的電子的功率吸收就相應(yīng)地減少了,從而造成等離子體密度較低,與離子能量較高的現(xiàn)象,這樣一來(lái)在處理過(guò)程中,工藝處理過(guò)程中的溫度也會(huì)升高。

2、射頻等離子清洗機(jī)

射頻等離子清洗機(jī)與中頻等離子清洗機(jī)不同的是,在射頻容性耦合方式的放電過(guò)程中,電極板產(chǎn)生的自偏壓受到放電氣壓的影響,但其中自偏壓較小,電子的功率吸收主要來(lái)自于與電極板表面的震蕩鞘層相互作用。因此,射頻等離子清洗機(jī)的激發(fā)頻率越高,電子的功率相對(duì)的也會(huì)越高,相應(yīng)的離子轟擊的能量就會(huì)降低,所以在工藝處理過(guò)程中的溫度就會(huì)相對(duì)中頻等離子清洗機(jī)較低。

3、微波等離子清洗機(jī)

而微波等離子清洗機(jī)的放電過(guò)程中,在這樣的清洗方式下沒(méi)有自偏壓,離子濃度高,離子能量低。主要有著兩種方式,即表面波型和電子回旋共振型,前者一般用于商業(yè)清洗,是通過(guò)輻射微波電磁場(chǎng)直接將氣體擊穿實(shí)現(xiàn)放電,其中并沒(méi)有離子的加速作用,其電子密度較高,但通常要去放電氣壓高,從而會(huì)引起等離子體局域化比較嚴(yán)重的情況,不利于縱深清洗方式和多層面的大尺度的清洗處理。此外,微波等離子清洗機(jī)也不適合對(duì)一些精密的電子元器件進(jìn)行處理。


注:

自偏壓指的是當(dāng)腔體電極接上RF功率時(shí),由于電子和離子的運(yùn)動(dòng),會(huì)在電極附近形成帶負(fù)電的鞘層電壓。這是因?yàn)殡娮拥馁|(zhì)量遠(yuǎn)小于離子,因此到達(dá)電極的電子數(shù)量多于離子,導(dǎo)致電極附近形成自偏壓。

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