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印制板等離子處理技術(shù)應(yīng)用

發(fā)布時間:2022-04-02 11:47:19 瀏覽數(shù):19883

等離子體處理技術(shù)是在半導(dǎo)體制造中創(chuàng)立起來的一種新技術(shù)。它早在半導(dǎo)體制造中得到了廣泛應(yīng)用,是半導(dǎo)體制造不可缺少的工藝。所以,它在IC加工中是一種很長久而成熟的技術(shù)。由于等離子體是一種具有很高能量和極高活性的物質(zhì),它對于任何有機材料等都具有良好的蝕刻作用,而且等離子制成是一種干法處理,沒有污染,因而在最近幾年被大量運用到印制板制造中來。

電路板等離子應(yīng)用


  隨著等離子體處理技術(shù)運用的日益普及,在PCB 制程中目前主要有以下功用:

 一、聚四氟乙烯材料的活化處理

  但凡進(jìn)行過聚四氟乙烯材料孔金屬化制造的工程師,都有這樣的體會:采用一般FR-4多層印制電路板孔金屬化制造的方法,是無法得到孔金屬化成功的聚四氟乙烯印制板的。其最大的難點是化學(xué)沉銅前的聚四氟乙烯活化前處理,也是最為關(guān)鍵的一步。

  有多種方法可用于聚四氟乙烯材料化學(xué)沉銅前的活化處理,但總結(jié)起來,能達(dá)到保證產(chǎn)品質(zhì)量并適合于批生產(chǎn)的,主要有以下兩種方法:

  1、化學(xué)處理法

  金屬鈉和萘,于非水溶劑如四氫呋喃或乙二醇二甲醚等溶液內(nèi)反應(yīng),形成一種萘鈉絡(luò)合物。該鈉萘處理液,能使孔內(nèi)之聚四氟乙烯表層原子受到浸蝕,從而達(dá)到潤濕孔壁的目的。此為經(jīng)典成功的方法,效果良好,質(zhì)量穩(wěn)定,目前應(yīng)用最廣。

  2、 等離子體處理法

  此處理方法為干法制程,操作簡便、處理質(zhì)量穩(wěn)定且可靠,適合于批量化生產(chǎn)。而化學(xué)處理法的鈉萘處理液來講,其難于合成、毒性大,且保質(zhì)期較短,需根據(jù)生產(chǎn)情況進(jìn)行配制,對安全要求很高。

因此,目前對于聚四氟乙烯表面的活化處理,大多采用等離子體處理法進(jìn)行,操作方便,還明顯減少了廢水處理。

 二、孔壁凹蝕 / 去除孔壁樹脂鉆污

  對于一般FR-4多層印制電路板制造來說,其數(shù)控鉆孔后的去除孔壁樹脂鉆污和凹蝕處理,通常有濃硫酸處理法、鉻酸處理法、堿性高錳酸鉀溶液處理法和等離子體處理法。

  但對于撓性印制電路板和剛-撓性印制電路板去除鉆污的處理上,由于材料的特性不同,若采用上述化學(xué)處理法進(jìn)行,其效果是不理想的,而采用等離子體去鉆污和凹蝕,可獲得孔壁較好的粗糙度,有利于孔金屬化電鍍,并同時具有“三維”凹蝕的連接特性。

 三、碳化物去除

   等離子處理法,不但在各類板料的鉆污處理方面效果明顯,而且在復(fù)合樹脂材料和微小孔除鉆污方面更顯示出其優(yōu)越性。除此之外,隨著更高互連密度積層式多層 印制電路板制造需求的不斷增加,大量運用到激光技術(shù)進(jìn)行鉆盲孔制造,作為激光鉆盲孔應(yīng)用的付產(chǎn)物——碳而言,需于孔金屬化制作工藝前加以去除。此時,等離 子體處理技術(shù),毫不諱言地?fù)?dān)當(dāng)其了除去碳化物的重任。

 四、內(nèi)層預(yù)處理

  隨著各類印制電路板制造需求的不斷增加,給相應(yīng)的加工技術(shù)提出了越來越高的要求。其中,對于撓性印制電路板和剛撓性印制電路板的內(nèi)層前處理,可增加表面的粗糙度和活性,提高板內(nèi)層間的結(jié)合力,這對于成功制造也是很關(guān)鍵的。

  等離子處理過程為一種干制程,相對于濕制程來說,其具有諸多的優(yōu)勢,這是等離子體本身特征所決定了。由高壓電離出的總體顯電中性的等離子體具有很高的活性,能夠與材料表面原子進(jìn)行不斷的反應(yīng), 使表面物質(zhì)不斷激發(fā)成氣態(tài)物質(zhì)揮發(fā)出去,達(dá)到清洗的目的。其在印制電路板制造過程中具有很好的實用性,是一種干凈、環(huán)保、高效的清洗方法。

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