由于大多數活性種的透過力較小，它僅限于對材料表面的反應，對整體材料不會產生影響，但能在短時間內有效地改變其表面特征。表面改性等離子體可分為等離子聚合和等離子處理。這一差異取決于所用的氣體種類。這一聚合氣體的方法被稱為等離子聚合，而不是聚合氣稱之為等離子。
對非聚合氣來說，化學上具有活性或不起作用的成分，將導致反演差異很大。電漿中的惰性氣體如He、Ne、Ar，沒有化學反應，但是其活性原子能在基體表面產生物理作用，并起到表面的凈化和除銹作用。
例如H2、O2、N2等具有活性的氣體，在等離子體中可以發(fā)生各種化學反應，從而生成官能團。聚合物的聚合反應和腐蝕等現象。通常使用等離子O2來改善表面結合力。在等離子體處理過程中，大部分有機高聚物產生了親水性的含氧官能團，使其表面能增強，從而改善了表面的結合力。24516