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小型等離子清洗機

小型真空等離子清洗機 5L 射頻

1、小技巧、操作簡單、易維護。

2、引進德國核心等離子技術(shù),質(zhì)量有保障。

3、進口針閥精密流量控制計,精度高。

4、316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕,環(huán)保不產(chǎn)生金屬污染。

5、多路工藝反應(yīng)氣體通道,保證產(chǎn)品清洗效果。

6、可以根據(jù)客戶需求定制。

產(chǎn)品詳情


型  號

JL-VMS05

等離子源系統(tǒng)

頻  率

13.65MHz  射頻

功  率

300W (連續(xù)可調(diào),精度為1W)

真空系統(tǒng)

真空腔體

材質(zhì)

石英

腔體內(nèi)部尺寸(MM)

D155*260(直徑*深度)

腔體容積

5 L

密封性

軍工級焊接密封

真空泵

油泵/干泵

處理溫度

<60°C

流量計

0-500ml/min

氣路控制

標配2路(可定制)

真空度

5Pa --30Pa

工藝氣體

Ar、N?、CF?、O?、H?等(可選)

控制系統(tǒng)

1、PLC 自動控制;

2、4.3寸觸摸屏,圖形用戶界面;

3、配方程序為 0~99;

4、多級權(quán)限操作;

5、圖形化曲線圖自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)及錯誤信息;

6、存儲工藝數(shù)據(jù)及錯誤信息;

7、報警信息提示及追溯;

8、圖形化界面檢測處理參數(shù);

9、自動、手動操作可切換;

10、維護提示緊急停止按鈕;

11、門感應(yīng)器和真空互鎖;

12、機器運行信號指示;

13、機器運行結(jié)束提示;

外觀參數(shù)

外形尺寸(MM)

650*420*480(寬*高*深)

重  量

55KG

設(shè)施配置

電  力

單相三線制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計規(guī)范》等國標標準相關(guān)規(guī)定。

壓縮空氣

其  它

提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊,易損件備件清單.


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