有些材料表面光滑，塑膠件電鍍影響附著力因素在使用膠水相互粘接時(shí)，往往不牢固，或不持久，明顯影響產(chǎn)品質(zhì)量。使用等離子清洗機(jī)可以對(duì)材料表面進(jìn)行處理，達(dá)到蝕刻效果(效果)，提高材料之間的附著力和耐久性，顯著提高良率和產(chǎn)品質(zhì)量。等離子清洗機(jī)表面粗化及蝕刻:不同材料利用相應(yīng)的氣體組合形成強(qiáng)的蝕刻氣體等電離與材料表面的化學(xué)反應(yīng)和物理沖擊，使固體材料在材料表面氣化，CO.CO2、H2O等氣體，達(dá)到微蝕刻的目的。
在工業(yè)清洗中，塑膠件電鍍影響附著力因素需要盡可能少的成本，盡可能少的對(duì)環(huán)境的影響，去除工件表面的多余材料。清洗的目的包括提高涂層與表面的附著力，提高涂裝和印刷產(chǎn)品的質(zhì)量。。用低溫等離子體發(fā)生器測(cè)量左右墊封裝帶處理前后的接觸角；IC塑料密封時(shí)，要求塑料密封材料與芯片、載體、金屬鍵合銷等不同材料具有良好的粘接性。如果有污漬或表面活性差，塑料密封臺(tái)就會(huì)剝落。經(jīng)低溫等離子體發(fā)生器清洗后，可有效提高表面活性、附著力和可靠性。
等離子表面處理設(shè)備利用等離子中各種高能物質(zhì)的（活化）作用，塑膠件電鍍影響附著力因素對(duì)附著在物品表面的（完整）表面的污垢進(jìn)行分離和清潔。很明顯，這種有害的等離子表面處理設(shè)備去除了工件表面的油污。等離子體對(duì)油漬的作用類似于油漬的燃燒反應(yīng)，只是它們?cè)诘蜏叵氯紵?。基本原理：由于O2等離子體中的氧原子官能團(tuán)、激發(fā)的氧分子、電子和紫外線的共同作用，油分子被氧化成水和二氧化碳分子，從制品表面除去。
如電子產(chǎn)品中，濺射附著力因素LCD/OLED屏的涂覆處理、PC塑膠框粘結(jié)前處理；機(jī)殼及按鍵鈕等結(jié)構(gòu)件的表面噴油絲??；PCB表面的除膠除污清潔、鏡片膠水粘貼前的處理；電線、電纜噴碼前的處理；汽車工業(yè)車燈罩、剎車片、車門密封膠條的粘貼前的處理；機(jī)械行業(yè)金屬零部件的細(xì)微無(wú)害清潔處理；鏡片鍍涂前的處理；各種工業(yè)材料之間接合密封前的處理；三維物體表面的改性處理…等等。
濺射附著力因素
plasma等離子清洗機(jī)等離子清洗機(jī)應(yīng)用環(huán)境：在等離子設(shè)備中使用正確的氣體以獲得所需的粘合性或印刷性非常重要。 有豐富的等離子活化項(xiàng)目經(jīng)驗(yàn)，可為不同材料的客戶提供優(yōu)質(zhì)服務(wù)。氫被用在聚四氟乙烯產(chǎn)品中，而氮通常是混合在一起形成氫氮的特殊混合。塑膠產(chǎn)品經(jīng)常使用氧氣。在處理金屬時(shí)，我們通常加入氬氣以防止氧化。在plasma等離子清洗機(jī)等離子體表面改性中，常采用氧和氬。
（2）化學(xué)作用 其反應(yīng)機(jī)理主要是利用等離子體里的自由基來(lái)與材料表面做化學(xué)反應(yīng)，在化學(xué)反應(yīng)里常用的氣體有氫氣（H2）、氧氣（O2）、氬氣（Ar）等，這些氣體會(huì)反應(yīng)成高活性的自由基進(jìn)一步與塑膠材料表面發(fā)生反應(yīng)。塑膠工件的應(yīng)用極為廣泛。
[Williams， B.E. and Glass, m J.T., J.Mater. Res. 4(2)(1989):373-384] 4．偏壓增強(qiáng)形核：在微波等離子體化學(xué)氣相堆積中，基體一般是加負(fù)偏壓，即基體的電位相關(guān)于等離子體來(lái)說(shuō)是低電位。負(fù)偏壓的作用是增加了基體外表附近的離子濃度。過(guò)高的偏壓會(huì)因?yàn)檫^(guò)多的離子對(duì)基體外表和前驅(qū)核的濺射而按捺形核，因而偏壓增強(qiáng)形核時(shí)偏壓的大小要適宜。。
等離子清洗機(jī)中常用的一些頻率差異是：中頻：高自偏壓、低等離子體密度、高離子能量、高工藝溫度和不需要的濺射； RF：低自偏壓、高等離子體密度、高離子能量；微波：無(wú)自偏壓，離子濃度最高，能量最低，均勻度低。中頻等離子體產(chǎn)生的反應(yīng)是物理反應(yīng)，高頻等離子體產(chǎn)生的反應(yīng)既是物理反應(yīng)又是化學(xué)反應(yīng)，微波等離子體產(chǎn)生的反應(yīng)是化學(xué)反應(yīng)。
濺射附著力因素
硫等離子體對(duì)GaAs樣品的鈍化不會(huì)造成明顯的雜質(zhì)污染，塑膠件電鍍影響附著力因素特別是鈍化效果相對(duì)穩(wěn)定，更適合于GaAs光電器件的鈍化過(guò)程。用射頻等離子體清洗劑對(duì)GaAs基板表面進(jìn)行干法鈍化。射頻等離子體的鈍化效果受襯底溫度、濺射功率和降解溫度的影響。通過(guò)優(yōu)化硫等離子體的鈍化條件，樣品的發(fā)光強(qiáng)度提高了71%，發(fā)光穩(wěn)定性更好。。
