控制部分的主要電器部件有:真空泵、RF電源、真空計、計時器、浮子流量計、綠色電源指示燈、帶燈的蜂鳴器、功率調(diào)節(jié)器、放空按鈕(帶自鎖)、氣體一按鈕(帶自鎖)、氣體二按鈕(帶自鎖)、高頻電源按鈕(帶自鎖)、真空泵按鈕(帶自鎖)、總電源旋鈕開關(guān)。鈕(帶自鎖)、真空泵按鈕(帶自鎖)、總電源旋鈕開關(guān)。
等離子清洗機常用的主機電源是13.56KHz頻率的主機電源,真空電鍍油漆附著力標(biāo)準(zhǔn)可以產(chǎn)生高等離子密度、軟能量、低溫,通常1-2千瓦,大功率5千瓦,小功率百瓦,多功率40千瓦,小功率百千瓦,多功率40KHz,中頻功率40KHz,中頻等離子清洗機主機功率,大功率5千瓦,小功率5千瓦,百千瓦,多功率功率40KHz,中頻功率40KHz,能量柔和,溫度低,正常功率1-2kW,高功率5kW,低功率數(shù)百kW,低功率數(shù)百KHz,多為40KHz,對真空等離子清洗機進行放電的射頻清洗機的中頻功率與正常室溫相近。
樣品放入反應(yīng)室,油漆附著力檢驗儀器真空泵開始抽到一定真空度,啟動電源就產(chǎn)生等離子體。氣體通過反應(yīng)室中的等離子體進入反應(yīng)室,與樣品表面反應(yīng),產(chǎn)生揮發(fā)性副產(chǎn)物,由真空泵抽出。真空等離子體清潔器等離子體是電中性的:一般等離子體是電中性的,但當(dāng)受到擾動時,等離子體內(nèi)部會發(fā)生局部電荷分離,產(chǎn)生電場。
不同類型的等離子清洗機使用的工藝氣體不同,油漆附著力檢驗儀器氣體流量控制器的選擇也會有所不同。我們總結(jié)了一些選擇氣體流量控制器的小竅門,現(xiàn)與大家分享。1常壓等離子體清洗機流量控制器的選擇根據(jù)不同的放電形式,常壓等離子體清洗機放電所需的氣體條件也有特殊。普通射流式和射頻式常壓等離子體清洗機應(yīng)引入滿足一定壓力和流量要求的壓縮空氣(CDA),以產(chǎn)生穩(wěn)定的等離子體,保證設(shè)備正常運行。
油漆附著力檢驗儀器
在等離子機技術(shù)中,氣體發(fā)射的分解在高能電子中起著決定性的作用。數(shù)以萬計的高能電子與氣體分子(原子)發(fā)生非彈性碰撞,將能量轉(zhuǎn)化為分子(原子)幾乎內(nèi)能,產(chǎn)生激發(fā)、電離、電離等進一步聯(lián)系,氣體就會活躍起來.在低勢能(<10ev)下,電子產(chǎn)生反應(yīng)性自由基,在體內(nèi)(形成)后,發(fā)射的分子通過等離子體定向鏈化學(xué)去除。勢能大于釋放分子化學(xué)鍵的鍵能,使分子鍵斷裂,釋放斷裂。
所以在微電子、半導(dǎo)體及線路板制作職業(yè)使用較廣。 因氫氣為危險性氣體,未被電離時與氧氣匯合會發(fā)生自爆,所以在等離子清洗機中一般是制止兩種氣體混合使用的。真空等離子狀態(tài)下氫等離子呈赤色,與氬等離子相似,要相同的放電環(huán)境下比氬等離子色彩略深。
然后,打開產(chǎn)品并一起使用,觀察腐蝕情況(工作場所溫度控制范圍:22°C +/- 6°C,濕度控制范圍55% +/- 15%)。產(chǎn)品 A 是等離子清潔的,但產(chǎn)品 B 不是等離子清潔的。連續(xù)通電實驗(200小時)后的情況如下。產(chǎn)品 A 在 71.5H 上電時出現(xiàn)第一條缺線,在 77H 上電時出現(xiàn)第二條缺線。 B為4.5H,通電。這表明缺少四行。
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