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金徠技術(shù)

ShenZhen City JinLai Technology Co.,Ltd.

平板清洗

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設(shè)備尺寸1105w *14880D*1842Hmm(帶信號高度2158mm)水平板8層電極板403w * 450dmmm2路工藝氣0-300ml/min真空測量日本ULVAV真空量規(guī)人機界面觸摸屏自主研發(fā)電極至距離48mmsignal light3 Ribbon報警真空泵90m3/h雙極油泵系統(tǒng)電源、AMP、機械占地面積:設(shè)備host1805 (W) x1988 (D) x1842 (H) mm射頻(rf)電源射頻(rf)頻率13.56 MHZRf power0WRf電源適配器全自動匹配,平板清洗線領(lǐng)先的空氣電容技術(shù)設(shè)備前提電源:AC380V,50/60Hz,三相無線7.5 kvacv壓縮空氣要求無水無油CDA60~ 90psig抽搐系統(tǒng)≥2立方米/分鐘,中央排氣處理管道可系統(tǒng)環(huán)境要求30°(室溫最佳)工藝氣體要求15~20paog99.996%以上。

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